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平板顯示產業也是高純濺射靶材的主要應用領域之一。 平板顯示器主要包括液晶顯示器(LCD)、等離子顯示器(PDP)、有機發光二極管顯示器(OLED)等,以及在 LCD 基礎上發展起來的觸控(TP)顯示產品。鍍膜是現代平板顯示產業的基礎環節,幾乎所有類型的平板顯示器件都會使用大量的鍍膜材料來形成各類功能薄膜,其所使用的 PVD 鍍膜材料主要為濺射靶材。 平面顯示面板的生產工藝中,屏顯玻璃基板要經多次濺射鍍膜形成 ITO 玻璃,然后再經過鍍膜、加工組裝用于生產 LCD面板、 PDP 面板及 OLED 面板等。對于觸控屏,則還需將 ITO 玻璃進行加工處理、經過鍍膜形成電極,再與防護屏等部件組裝加工而成。此外,為了實現平板顯示產品的抗反射、消影等功能,還可以在鍍膜環節中增加相應膜層的鍍膜。 應用于平面顯示的尤特靶材如下: |